一種檢測海水鹽度與溫度集成傳感器芯片及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711001450.2 申請日 -
公開（公告）號 CN107576690B 公開（公告）日 2020-12-04
申請公布號 CN107576690B 申請公布日 2020-12-04
分類號 G01N27/07;G01K7/16 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張洪泉;劉秀杰;張凱;沈冰;姜宗澤 申請（專利權(quán)）人 上海航士海洋科技有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 哈爾濱航士科技發(fā)展有限公司;上海航士海洋科技有限公司;哈爾濱工程大學
地址 150001 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)南通大街145號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測海水鹽度與溫度集成集成傳感器芯片，包括鹽度檢測電極、溫度檢測電極、玄武巖玻璃基片，玄武巖玻璃基片的第一個表面上設(shè)置有六個鹽度檢測電極，鹽度檢測電極外部設(shè)置有第一厚膜包封層，厚膜包封層在鹽度檢測電極處留有開口，玄武巖玻璃基片的第二個表面上設(shè)置有三個溫度檢測電極，溫度檢測電極外側(cè)設(shè)置有第二厚膜包封層，解決現(xiàn)有傳感器基片容易受到海水腐蝕，檢測時存在誤差的問題，實現(xiàn)海水鹽度和溫度的同步測量，對海水鹽度檢測結(jié)果進行實時的溫度補償，同時具有多種工作模式，可以檢測出損壞或者精度差的電極，提高精度。