一種納米管材料的氣體傳感器的制備方法及氣體傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710881284.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107677704B 公開（公告）日 2020-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN107677704B 申請(qǐng)公布日 2020-01-21
分類號(hào) G01N27/00;B82Y15/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張洪泉;沈冰;張凱;姜宗澤;劉秀杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海航士海洋科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 哈爾濱工程大學(xué);上海航士海洋科技有限公司;哈爾濱航士科技發(fā)展有限公司
地址 150001 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)南通大街145號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種納米管材料的氣體傳感器的制備方法及氣體傳感器，屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。氣體傳感器的敏感元件和補(bǔ)償元件均包括Al2O3載體、貴金屬修飾γ?Al2O3納米管陣列；Al2O3載體上設(shè)置有敏感電極，敏感電極通過電極焊盤焊接有金屬引線，貴金屬修飾γ?Al2O3納米管陣列位于Al2O3載體的底面上。方法：利用原位生長(zhǎng)的Al2O3膜狀陶瓷材料做為傳感器載體材料，通過微加工技術(shù)形成傳感器微結(jié)構(gòu)載體，在Al2O3膜狀材料的孔洞內(nèi)修飾γ?Al2O3和貴金屬催化劑后，形成敏感性納米管陣列敏感芯體，在芯體表面沉積鉑膜，光刻和刻蝕后形成敏感電極。該傳感器芯體在高溫條件下可實(shí)現(xiàn)對(duì)不同種類的易燃易爆氣體進(jìn)行濃度檢測(cè)。