一種芯片載盤拖動機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022543756.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213583722U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213583722U 申請公布日 2021-06-29
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王體;李輝;李俊強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 深圳市諾泰芯裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司 代理人 李俊
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道和一社區(qū)沙井萬豐華豐創(chuàng)業(yè)園廠房1棟四層D座南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種芯片載盤拖動機(jī)構(gòu)，包括電機(jī)安裝底座、DD直驅(qū)電機(jī)、傳動盤和浮動載盤組件，所述DD直驅(qū)電機(jī)螺栓連接在電機(jī)安裝底座的上端，所述DD直驅(qū)電機(jī)的輸出端與傳動盤傳動連接，所述傳動盤的上端表面設(shè)置有浮動載盤組件，所述浮動載盤組件包括連接板、載盤、插銷、螺栓、彈簧、墊片和連接孔，所述連接板的一端通過插銷與載盤固定連接，所述連接板的另一端插接有螺栓，所述螺栓的底端位于連接板表面設(shè)置有墊片，所述墊片上表面設(shè)置有彈簧。本實用新型在傳動盤上表面設(shè)置若干個浮動載盤積分，將單個芯片安放在浮動載盤組件上端，代替了傳統(tǒng)的堆疊式，能夠有效的減少中轉(zhuǎn)次數(shù)，大大節(jié)省人力，提高了生產(chǎn)效率。