一種弧形隧道加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022542216.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213880296U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213880296U 申請公布日 2021-08-03
分類號 H05B3/06（2006.01）I;H05B3/22（2006.01）I;H05B1/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 李輝;王體;李俊強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 深圳市諾泰芯裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司 代理人 李俊
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道和一社區(qū)沙井萬豐華豐創(chuàng)業(yè)園廠房1棟四層D座南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種弧形隧道加熱裝置，包括上部隔熱板，所述上部隔熱板固定于整個(gè)裝置頂部，所述上部隔熱板下端設(shè)置有隧道加熱機(jī)構(gòu)，所述隧道加熱機(jī)構(gòu)包括上加熱板、下加熱板、熱電隅、電熱絲、引線和加熱腔體，所述上加熱板下端內(nèi)側(cè)和下加熱板上端內(nèi)側(cè)均開設(shè)有安裝槽，所述安裝槽內(nèi)部固定連接有電熱絲，所述隧道加熱機(jī)構(gòu)下端焊接有下部隔熱板。本實(shí)用新型是由上下兩塊弧形加熱板構(gòu)成的，每塊加熱板均勻的分布了加熱絲，形成了一個(gè)槽型加熱腔體，配合上下檢測溫度的熱電隅，以及溫度控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)溫度均勻性良好，溫度誤差小，恒溫效率高等優(yōu)點(diǎn)，方便生產(chǎn)中產(chǎn)品與載盤快速的更換流動(dòng)，從而提高芯片產(chǎn)品生產(chǎn)效率。