一種硅片刷片機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811269321.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN109346424A 公開（公告）日 2019-02-15
申請公布號(hào) CN109346424A 申請公布日 2019-02-15
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡曉光;徐繼東;厲惠宏 申請（專利權(quán)）人 浙江金瑞泓科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 宋纓;孫健
地址 315800 浙江省寧波市保稅區(qū)0125-3地塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅片刷片機(jī)，包括料盤升降裝置、傳送裝置和轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，所述的工作臺(tái)上端中部安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的前、后方對稱布置有傳送裝置，所述的傳送裝置靠近轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的一側(cè)安裝有放置座，該傳送裝置的另一側(cè)安裝有料盤升降裝置，所述的放置座與轉(zhuǎn)動(dòng)裝置之間設(shè)置有轉(zhuǎn)運(yùn)裝置。本發(fā)明通過高轉(zhuǎn)速電機(jī)控制吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)，升降氣缸控制圓盤刷上下升降，旋轉(zhuǎn)氣缸控制擺桿軸帶著圓盤刷一起轉(zhuǎn)動(dòng)，自動(dòng)化程度高，大大降低了人工成本。本發(fā)明通過吸盤吸住硅片進(jìn)行清洗，可以避免對硅片表面的損傷；通過料盤升降裝置實(shí)現(xiàn)料盤盒的升降，方便將料盤盒中的硅片從下往上依次一個(gè)一個(gè)送去清洗，自動(dòng)化程度高，大大降低了人工成本。