一種磷化銦單晶爐磷泡升降裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720806411.9 申請日 -
公開（公告）號 CN207109149U 公開（公告）日 2018-03-16
申請公布號 CN207109149U 申請公布日 2018-03-16
分類號 C30B29/40 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 葉順閔 申請（專利權(quán)）人 重慶鼎力弘科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華識知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 葉順閔;謝明達;重慶鼎力弘科技有限公司
地址 201204 上海市浦東新區(qū)北中路383弄11號401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種磷化銦單晶爐磷泡升降裝置，包括支撐柱、磷泡桿與磷泡，所述支撐柱頂部連接支撐座，所述支撐座頂部設有升降電機，所述升降電機底部連接升降桿，所述支撐座底部兩側(cè)連接有滑板，所述升降桿底部連接第一支撐板，所述第一支撐板兩端通過滑輪與滑板內(nèi)側(cè)滑動連接，所述第一支撐板底部兩側(cè)通過連接板連接有第二支撐板，所述第二支撐板頂部設有旋轉(zhuǎn)電機，所述旋轉(zhuǎn)電機底部連接磷泡桿，所述磷泡桿底部連接磷泡，所述磷泡底部連接磷泡管，本實用新型用于磷化銦單晶爐內(nèi)磷注入法合成磷化銦多晶，通過設置升降電機與旋轉(zhuǎn)電機，使磷泡在磷化銦合成工藝中可升降和水平旋轉(zhuǎn)，并通過兩個滑輪在滑板內(nèi)側(cè)滑動，增強了升降的穩(wěn)定。