一種采用氫鈍化的異質(zhì)結(jié)太陽電池的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111129304.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113937185A 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN113937185A 申請公布日 2022-01-14
分類號 H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許志 申請（專利權(quán)）人 福建新峰二維材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 代理人 張磊
地址 362100福建省泉州市臺商投資區(qū)東園鎮(zhèn)東緯三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種采用氫鈍化的異質(zhì)結(jié)太陽電池的制造方法，它包括氫鈍化工序，具體如下：采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)的氣相沉積法對制絨后的半導(dǎo)體基板表面進(jìn)行氫鈍化、氧化處理，之后清洗去除氫鈍化、氧化處理形成的膜層。本發(fā)明的目的在于提供一種采用氫鈍化的異質(zhì)結(jié)太陽電池的制造方法，不但能夠提高異質(zhì)結(jié)太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率，而且能夠解決鑄造單晶硅和多晶硅體少子壽命低、雜質(zhì)缺陷多等問題，使其應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)太陽能電池當(dāng)中，從而進(jìn)一步降低異質(zhì)結(jié)太陽能電池的制作成本。