一種采用分級補(bǔ)償技術(shù)的電容檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520129125.4 申請日 -
公開（公告）號 CN204439098U 公開（公告）日 2015-07-01
申請公布號 CN204439098U 申請公布日 2015-07-01
分類號 G01D5/24(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陸游;張晰泊 申請（專利權(quán)）人 北京芯動聯(lián)科微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中企鴻陽知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京芯動聯(lián)科微電子技術(shù)有限公司
地址 100080 北京市海淀區(qū)海淀大街3號鼎好大廈A705
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出了一種采用分級補(bǔ)償技術(shù)的電容檢測裝置，包括：與傳感器的檢測電容相連的分級補(bǔ)償裝置，其中，分級補(bǔ)償裝置包括多個級聯(lián)的補(bǔ)償單元，每個補(bǔ)償單元包括：第一和第二補(bǔ)償電容；電荷敏感放大器，電荷敏感放大器的正向輸入端連接至第一補(bǔ)償電容的另一端，電荷敏感放大器的負(fù)向輸入端連接至第二補(bǔ)償電容的另一端；第一和第二反饋電容，其中，相鄰的兩個補(bǔ)償單元之間通過第一和第二級聯(lián)電容相連。本實用新型有較高的匹配精度高和補(bǔ)償范圍寬的特點。