一種升降旋轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611047884.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106449509A 公開(kāi)（公告）日 2017-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN106449509A 申請(qǐng)公布日 2017-02-22
分類(lèi)號(hào) H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李文;韋孟銻;丁治祥;劉偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇奧特維自動(dòng)化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市新區(qū)珠江路25號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種升降旋轉(zhuǎn)裝置，包括驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置上連接有橫移裝置，所述橫移裝置上裝有升降裝置，所述升降裝置上連接有旋轉(zhuǎn)裝置；所述旋轉(zhuǎn)裝置包括帶動(dòng)中軸轉(zhuǎn)動(dòng)的擺臂，所述中軸上同步安裝有硅片吸附裝置；所述擺臂的端部與旋轉(zhuǎn)控制裝置滑動(dòng)和/或滾動(dòng)連接，用于使所述擺臂轉(zhuǎn)動(dòng)。該升降旋轉(zhuǎn)裝置，通過(guò)帶動(dòng)擺臂的動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)了中軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)了中軸上端硅片吸附裝置上硅片的轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)中軸上同步安裝的硅片吸附裝置，實(shí)現(xiàn)了硅片的運(yùn)載與轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)為了更好的實(shí)現(xiàn)硅片旋轉(zhuǎn)功能，避免干涉，將旋轉(zhuǎn)裝置安裝在升降裝置上，為了帶動(dòng)硅片的輸送，而將升降裝置安裝在橫移裝置上，從而完成了在輸送過(guò)程中實(shí)現(xiàn)使硅片旋轉(zhuǎn)的功能。