一種硅片供料裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201621269291.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206610796U 公開（公告）日 2017-11-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN206610796U 申請(qǐng)公布日 2017-11-03
分類號(hào) H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李文;韋孟銻;丁治祥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇奧特維自動(dòng)化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214000 江蘇省無錫市新區(qū)珠江路25號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種硅片供料裝置，包括至少一個(gè)供料模塊，所述供料模塊包括移動(dòng)裝置、存料座，所述存料座安裝在所述移動(dòng)裝置上，所述移動(dòng)裝置包括橫移裝置和升降裝置，所述升降裝置連接在所述橫移裝置上。通過供料模塊中的移動(dòng)裝置帶動(dòng)存料座移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了硅片清洗后與檢測(cè)前的銜接，避免使用人工搬運(yùn)，從而提升了生產(chǎn)效率。