一種升降旋轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621269269.0 申請日 -
公開（公告）號 CN206271686U 公開（公告）日 2017-06-20
申請公布號 CN206271686U 申請公布日 2017-06-20
分類號 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李文;韋孟銻;丁治祥;劉偉 申請（專利權(quán)）人 江蘇奧特維自動化科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 214000 江蘇省無錫市新區(qū)珠江路25號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種升降旋轉(zhuǎn)裝置，包括驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置上連接有橫移裝置，所述橫移裝置上裝有升降裝置，所述升降裝置上連接有旋轉(zhuǎn)裝置；所述旋轉(zhuǎn)裝置包括帶動中軸轉(zhuǎn)動的擺臂，所述中軸上同步安裝有硅片吸附裝置；所述擺臂的端部與旋轉(zhuǎn)控制裝置滑動和/或滾動連接，用于使所述擺臂轉(zhuǎn)動。該升降旋轉(zhuǎn)裝置，通過帶動擺臂的動作，實現(xiàn)了中軸的轉(zhuǎn)動，進而帶動了中軸上端硅片吸附裝置上硅片的轉(zhuǎn)動，通過中軸上同步安裝的硅片吸附裝置，實現(xiàn)了硅片的運載與轉(zhuǎn)動，同時為了更好的實現(xiàn)硅片旋轉(zhuǎn)功能，避免干涉，將旋轉(zhuǎn)裝置安裝在升降裝置上，為了帶動硅片的輸送，而將升降裝置安裝在橫移裝置上，從而完成了在輸送過程中實現(xiàn)使硅片旋轉(zhuǎn)的功能。