一種氮化硅熱壓燒結(jié)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111657931.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114413629A 公開（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN114413629A 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類號(hào) F27B17/00（2006.01）I;F27D99/00（2010.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 陳全 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州昂炻高新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京酷愛智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉娟
地址 215299江蘇省蘇州市吳江區(qū)江陵街道長(zhǎng)安路2358號(hào)吳江科技創(chuàng)業(yè)園綜合樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氮化硅熱壓燒結(jié)設(shè)備，涉及氮化硅熱壓燒結(jié)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明包括工作臺(tái)，工作臺(tái)上端設(shè)置有殼體，殼體內(nèi)設(shè)置加熱裝置，殼體的下端開設(shè)有第一通孔，工作臺(tái)貫穿開設(shè)有第二通孔，工作臺(tái)的下方設(shè)置有能經(jīng)第二通孔和第一通孔進(jìn)入到殼體內(nèi)的承壓板，通孔內(nèi)設(shè)置有密封組件，殼體內(nèi)設(shè)置有能沿豎直方向移動(dòng)的豎向壓板，殼體內(nèi)還設(shè)置有能沿橫向移動(dòng)的橫向壓板，豎向壓板的下端設(shè)置有能沿豎向壓板下端面移動(dòng)的固定板，橫向壓板的上端設(shè)置有導(dǎo)向組件，導(dǎo)向組件能帶動(dòng)固定板同步移動(dòng)，固定板與橫向壓板之間還設(shè)置有間隙補(bǔ)償組件。能夠?qū)Φ枋┘訂屋S向力的同時(shí)，能夠?qū)Φ璧膫?cè)壁施加壓力，使氮化硅側(cè)壁受到的壓力可調(diào)。