全形態(tài)測量激光干涉儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020080097.2 申請日 -
公開(公告)號 CN211452213U 公開(公告)日 2020-09-08
申請公布號 CN211452213U 申請公布日 2020-09-08
分類號 G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 伍瑋;羅利娟;鐘海 申請(專利權(quán))人 四川中科卓爾光學(xué)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都中匯天健專利代理有限公司 代理人 成都威博恩科技有限公司
地址 610000 四川省成都市自由貿(mào)易試驗區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)牧華路二段1518號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種全形態(tài)測量激光干涉儀,包括殼體,殼體整體呈匚型,殼體上從上至下依次設(shè)有反射標(biāo)準(zhǔn)鏡組件、測試平臺和激光準(zhǔn)直鏡組件;測試平臺用于固定被測元件,其與殼體通過升降裝置連接,激光準(zhǔn)直鏡組件用于向測試平臺上的被測元件及反射標(biāo)準(zhǔn)鏡組件發(fā)射直線激光,反射標(biāo)準(zhǔn)鏡組件用于反射直線激光至激光準(zhǔn)直鏡組件。本實(shí)用新型測試平臺通過升降裝置與殼體連接,使得測試平臺可在激光準(zhǔn)直鏡組件和反射標(biāo)準(zhǔn)鏡組件之間進(jìn)行移動,以改變其相對位置。如此,工作人員僅在測試的時候調(diào)節(jié)測試平臺的位置即可改變測試過程中的透射率和反射率,使得攝像機(jī)上得到的條紋更加清晰,提高測試效率同時提高了測試準(zhǔn)確度。??