一種薄膜晶體管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210595754.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103077973A 公開（公告）日 2013-05-01
申請公布號 CN103077973A 申請公布日 2013-05-01
分類號 H01L29/786(2006.01)I;H01L29/24(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 紀成友;賈道峰 申請（專利權(quán)）人 青島紅星化工集團自力實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 266000 山東省青島市李滄區(qū)四流北路35號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種薄膜晶體管器件及其制作方法。本器件包括襯底11、源漏極19、有源層17、絕緣層15以及柵極13，其中有源層為含VIB族金屬氧化物。各結(jié)構(gòu)層采用真空蒸發(fā)方法和濺射方法制備?？蓪崿F(xiàn)工藝大為簡化，性能更加優(yōu)良。