一種基于PSD的輪廓掃描測(cè)量裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710358647.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107121091A 公開(kāi)（公告）日 2017-09-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN107121091A 申請(qǐng)公布日 2017-09-01
分類號(hào) G01B11/24(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 孫明;趙善文;彭程;張耀亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安五湖智聯(lián)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 710016 陜西省西安市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鳳城一路利君V時(shí)代1幢2單元21109室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明專利公開(kāi)了一種基于PSD的輪廓掃描測(cè)量裝置，該裝置包括：激光發(fā)射單元，用于產(chǎn)生激光束；掃描單元：激光束照射到MEMS振鏡上，振鏡將激光束反射，同時(shí)做掃描動(dòng)作，使發(fā)射激光束的路徑呈一定張角的扇形區(qū)域；接收單元：收集漫反射光、濾除環(huán)境噪聲獲取輪廓信息，并輸出?？刂茊卧糜趨f(xié)調(diào)其余各單元的工作，實(shí)時(shí)計(jì)算被測(cè)物體三維輪廓。本發(fā)明采用可控MEMS振鏡作為掃描單元的掃描結(jié)構(gòu)，振鏡的高頻率、小體積的特點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)整個(gè)測(cè)距裝置的小型化設(shè)計(jì)要求，且成本低廉，易于推廣。