一種精密輪廓掃描測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710106572.1 申請日 -
公開（公告）號 CN106895796A 公開（公告）日 2017-06-27
申請公布號 CN106895796A 申請公布日 2017-06-27
分類號 G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫明;趙善文 申請（專利權(quán)）人 西安五湖智聯(lián)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 710000 陜西省西安市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳城一路利君V時代1幢2單元21109室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種精密輪廓掃描測量裝置，該裝置包括：激光發(fā)射單元，用于產(chǎn)生激光束；掃描單元：激光束照射到MEMS振鏡上，振鏡將激光束反射，同時做掃描動作，使發(fā)射激光束的路徑呈一定張角的扇形區(qū)域；光學(xué)單元：用于聚焦激被被測物漫反射回來的激光，同時濾除環(huán)境中存在的光噪聲；接收單元：獲取光斑位置，并輸出用于計算距離。伺服單元：帶動測距功能部分，完成空間掃描功能。中央處理單元，用于協(xié)調(diào)其余各單元的工作，實時計算被測物距離。本發(fā)明采用可控MEMS振鏡作為掃描單元的掃描結(jié)構(gòu)，振鏡的高頻率、小體積的特點(diǎn)可實現(xiàn)整個測距裝置的小型化設(shè)計要求，且成本低廉，易于推廣。