一種基于MEMS壓力傳感器的亞微米精度氣動(dòng)微距儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721345863.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207248413U 公開(kāi)（公告）日 2018-04-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN207248413U 申請(qǐng)公布日 2018-04-17
分類號(hào) G01L9/00;G01B21/02 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 孫明;趙善文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安五湖智聯(lián)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 710016 陜西省西安市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鳳城二路10號(hào)天地時(shí)代廣場(chǎng)1幢2單元20812室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型專利公開(kāi)了一種基于MEMS壓力傳感器的亞微米精度氣動(dòng)微距儀，包括殼體，所述殼體內(nèi)設(shè)置有氣腔單元、氣壓采集單元、信號(hào)處理單元、顯示單元和發(fā)送單元，所述氣腔單元前端設(shè)置有進(jìn)氣孔，后端設(shè)置有出氣孔、分壓出氣孔和漏氣孔，所述各孔分別通過(guò)氣路與氣壓采集單元相連，所述氣壓采集單元包括一組MEMS壓力傳感器。本實(shí)用新型采用MEMS壓力傳感器的亞微米精度氣動(dòng)微距儀適于小型化設(shè)計(jì)要求，且成本低廉，易于推廣。