一種雙光源白光干涉儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022761333.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213932397U 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213932397U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) G01B11/24（2006.01）I;G01B9/02（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 歐燦娟;夏雪婷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海博明傳感器技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄧大文
地址 519000廣東省珠海市高新區(qū)唐家灣鎮(zhèn)軟件園街（路）1號(hào)生產(chǎn)加工中心5#一層8單元B區(qū)04-06室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種雙光源白光干涉儀，包括第一紅光LED、第一透鏡、第二透鏡、第一分光棱鏡、第三透鏡、窄帶濾光片、第四透鏡、第二紅光LED、第一LED光源座、第一壓蓋、第二壓蓋、第一棱鏡座、透鏡隔圈、窄帶透鏡座、透鏡壓圈以及干涉系統(tǒng)構(gòu)件，所述第一分光棱鏡位于第一棱鏡座的頂部，所述第四透鏡設(shè)置于第一分光棱鏡的一側(cè)處，且所述第四透鏡的外部處設(shè)置有透鏡壓圈，所述第二透鏡設(shè)置于第一分光棱鏡靠近于第四透鏡的一側(cè)處，本實(shí)用新型通過在原有的紅光LED光源的基礎(chǔ)上，增加一個(gè)窄帶光源，窄帶光源光譜寬度很小，相干性好，相干長(zhǎng)度長(zhǎng)，可測(cè)量臺(tái)階高度差較大或者表面輪廓起伏較大的樣品，增強(qiáng)了儀器的適用性。