一種勻膠顯影機(jī)用光刻膠回收裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020671612.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211718693U | 公開（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211718693U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-20 |
| 分類號(hào) | G03F7/30(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 陳炳添 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廈門恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京力量專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 廈門恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 地址 | 361000福建省廈門市海滄區(qū)東孚鎮(zhèn)山邊路389號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及勻膠顯影機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種勻膠顯影機(jī)用光刻膠回收裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)在勻膠顯影機(jī)的工作過程中會(huì)使用到較多的光刻膠，而這些光刻膠在旋轉(zhuǎn)勻膠的過程中，會(huì)被甩落較多，造成資源的浪費(fèi)的缺點(diǎn)，包括勻膠機(jī)，其外表面設(shè)置有控制面板，且勻膠機(jī)的底部設(shè)置有多個(gè)支腳，勻膠罐設(shè)置于勻膠機(jī)的頂部，且勻膠罐的內(nèi)部安裝有作業(yè)盤，所述勻膠罐的內(nèi)部?jī)蓚?cè)均開設(shè)有安裝槽及裝載口，支板一側(cè)設(shè)置有回收柜。本實(shí)用新型利用T型結(jié)構(gòu)的安裝桿及安裝槽，實(shí)現(xiàn)支板與勻膠罐的組裝連接，對(duì)晶圓片旋轉(zhuǎn)勻膠過程中甩出的光刻膠進(jìn)行回收二次利用，且通過裝載口可方便的對(duì)安裝桿進(jìn)行分離組裝，保持光刻膠的回收工作持續(xù)性進(jìn)行。?? |
