一種光刻膠灌裝裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020665670.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212127491U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212127491U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-11 |
| 分類號(hào) | B67C3/26(2006.01)I;B67C3/22(2006.01)I | 分類 | 開(kāi)啟或封閉瓶子、罐或類似的容器；液體的貯運(yùn); |
| 發(fā)明人 | 宋里千 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廈門(mén)恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京力量專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 廈門(mén)恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 地址 | 361000福建省廈門(mén)市海滄區(qū)東孚鎮(zhèn)山邊路389號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及光刻膠生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種光刻膠灌裝裝置,包括取膠筒，所述取膠筒沿筒周身一圈設(shè)置有周向分布的儲(chǔ)膠室若干個(gè)，儲(chǔ)膠室的出口處設(shè)置有可滑動(dòng)蓋合所述儲(chǔ)膠室的閘板，取膠筒的頂部設(shè)置有推動(dòng)油缸，推動(dòng)油缸的底部輸出端設(shè)置有可上下升降的安裝架，安裝架的底部安裝有負(fù)壓泵，負(fù)壓泵的輸入端設(shè)置有吸取管頭、負(fù)壓泵的輸出端設(shè)置有灌裝管頭，本實(shí)用新型解決了光刻膠無(wú)法保持定量灌裝涂抹，會(huì)影響硅片的產(chǎn)品質(zhì)量的問(wèn)題，通過(guò)本灌裝裝置可以確保每一次定量抽取并灌裝光刻膠的膠液，灌裝過(guò)程可持續(xù)進(jìn)行，人工作業(yè)量降低，對(duì)生產(chǎn)工藝起到了明顯的促進(jìn)作用，硅片產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量得到提升，適宜推廣使用。?? |
