一種工業(yè)用大型真空機系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910867830.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110469484A 公開（公告）日 2019-11-19
申請公布號 CN110469484A 申請公布日 2019-11-19
分類號 F04B37/14（2006.01）I; F04B41/06（2006.01）I; F04C18/12（2006.01）I; F04C25/02（2006.01）I; F04F9/00（2006.01）I; B65B31/02（2006.01）I; G01V8/10（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 陳舟; 李甲鐸; 徐滕州 申請（專利權(quán)）人 蕪湖聚創(chuàng)新材料有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 241080 安徽省蕪湖市三山區(qū)龍?zhí)谅?號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種工業(yè)用大型真空機系統(tǒng)，此系統(tǒng)包含兩個子系統(tǒng)：抽真空系統(tǒng)和箱體系統(tǒng)，包括以下步驟：放好物料后，箱座上升與箱蓋密封結(jié)合，閥120開啟，旋片泵進(jìn)行粗抽，接著羅茨泵開始工作，當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定值時，閥120關(guān)閉，閥110和閥130打開，擴散泵開始工作，抽氣完成后各級泵停止工作。箱體由箱蓋和箱座組成，其中箱體固定安裝，箱座由氣缸帶動沿導(dǎo)軌運行。本發(fā)明中箱蓋和箱座之間安裝有光幕感器，在箱蓋向上動作時，光幕感器接通，遇到障礙時光幕感器動作，同時箱蓋停止動作并復(fù)位，提高了工作過程的安全性。