一種基于金剛石薄膜的海水壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821231269.0 申請日 -
公開（公告）號 CN208568143U 公開（公告）日 2019-03-01
申請公布號 CN208568143U 申請公布日 2019-03-01
分類號 G01L7/08（2006.01）I; G01L9/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭風(fēng)祥; 蓋志剛; 張濤; 張妹; 胡鼎; 劉壽生; 曹琳; 王韶琰; 柴旭; 王宜豹 申請（專利權(quán)）人 青島浦澤海洋科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 山東省科學(xué)院海洋儀器儀表研究所
地址 266000 山東省青島市嶗山區(qū)同安路880號5層H17室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于海洋環(huán)境監(jiān)測儀器技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于檢測海水壓力的傳感器。一種基于金剛石薄膜的海水壓力傳感器,包括底座、基底、絕緣層、壓力敏感層、電極和金屬外殼；其中，基底位于底座的頂面，其內(nèi)部形成有應(yīng)力腔；絕緣層位于基底的頂面；壓力敏感層位于絕緣層的頂面，為單晶或多晶硼摻雜金剛石構(gòu)成的尺寸、結(jié)構(gòu)、成分完全相同的四塊薄膜；電極包括四個，分別設(shè)置在形成所述壓力敏感層的四塊薄膜上；金屬外殼安裝在所述基底的頂面，并將所述絕緣層、壓力敏感層和電極封裝在其內(nèi)，在金屬外殼環(huán)繞形成的腔體內(nèi)封裝有液壓油。本實用新型的海水壓力傳感器可以抑制傳感器結(jié)構(gòu)失穩(wěn)與信號漂移，提高傳感器對海水壓力響應(yīng)的靈敏度和穩(wěn)定性。