一種金剛石薄膜深海溫度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721322903.7 申請日 -
公開（公告）號 CN207502079U 公開（公告）日 2018-06-15
申請公布號 CN207502079U 申請公布日 2018-06-15
分類號 G01K13/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭風(fēng)祥;蓋志剛;張濤;張妹;邱慧敏;李恒;李正軍 申請（專利權(quán)）人 青島浦澤海洋科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 山東省科學(xué)院海洋儀器儀表研究所
地址 266000 山東省青島市嶗山區(qū)同安路880號5層H17室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種金剛石薄膜深海溫度傳感器，包括一端密封的筒狀金屬耐壓外殼，所述金屬耐壓外殼內(nèi)縱向設(shè)有片狀金剛石基底，所述金剛石基底一側(cè)設(shè)有溫度響應(yīng)元件，所述溫度響應(yīng)元件為雙螺旋線狀結(jié)構(gòu)，所述溫度響應(yīng)元件兩端設(shè)有與外部信號采集電路連接的引線，所述溫度響應(yīng)元件和引線表面覆蓋有陶瓷或類金剛石絕緣層，所述陶瓷或類金剛石絕緣層與金屬耐壓外殼接觸；所述溫度響應(yīng)元件為硼摻雜金剛石薄膜材料，同時公開了該溫度傳感器的制備方法，本實用新型所公開的深海溫度傳感器響應(yīng)速度快、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、不受外界海水壓力的影響。