一種基于MEMS技術(shù)的金剛石海水鹽度傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820051113.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208568661U 公開（公告）日 2019-03-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN208568661U 申請(qǐng)公布日 2019-03-01
分類號(hào) G01N27/26（2006.01）I; G01N27/30（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 郭風(fēng)祥; 蓋志剛; 張濤; 惠超; 張妹; 邱慧敏; 胡鼎; 李恒; 李正軍; 曹琳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島浦澤海洋科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 山東省科學(xué)院海洋儀器儀表研究所
地址 266000 山東省青島市嶗山區(qū)同安路880號(hào)5層H17室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于MEMS技術(shù)的金剛石海水鹽度傳感器，包括本征金剛石絕緣襯底、摻雜金剛石陣列電極、電極引線和水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)，所述摻雜金剛石陣列電極位于本征金剛石絕緣襯底與海水接觸的一側(cè)，水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)位于本征金剛石絕緣襯底的另一側(cè)，電極引線一端穿過水密絕緣封裝結(jié)構(gòu)與摻雜金剛石陣列電極相連，另一端與后端測(cè)量電路相連；所述摻雜金剛石陣列電極包括四列探測(cè)電極，內(nèi)部?jī)闪刑綔y(cè)電極為信號(hào)采集電極，外部?jī)闪刑綔y(cè)電極為信號(hào)輸入電極，本實(shí)用新型所公開的電導(dǎo)率傳感器滿足微型化的要求，化學(xué)穩(wěn)定性高，抗生物附著能力強(qiáng)，穩(wěn)定工作壽命長(zhǎng)。