一種半導(dǎo)體器件溫度特性測量儀器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110940274.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113391183A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113391183A 申請公布日 2021-09-14
分類號 G01R31/26（2014.01）I;G01R1/02（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 閆長春 申請（專利權(quán)）人 蘇師大半導(dǎo)體材料與設(shè)備研究院（邳州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京棘龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張開
地址 212000江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河西路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件溫度特性測量儀器，屬于半導(dǎo)體檢測技術(shù)領(lǐng)域。一種半導(dǎo)體器件溫度特性測量儀器，包括箱體，還包括：固定架，固定在所述箱體內(nèi)；其中，固定架上對稱設(shè)有檢測槽，所述檢測槽內(nèi)設(shè)有第一電極，所述固定架上設(shè)有兩組電流表，所述電流表與第一電極電性連接；雙向絲桿，轉(zhuǎn)動連接在所述箱體內(nèi)；其中，所述雙向絲桿兩端對稱螺紋連接有滑塊，所述滑塊上設(shè)有夾持槽，所述夾持槽內(nèi)設(shè)有第二電極，所述第二電極與第一電極位置相匹配，所述滑塊上設(shè)有蓄電池；本發(fā)明通過抽排液機(jī)構(gòu)、加熱箱、導(dǎo)熱管的設(shè)置便于保證兩組檢測槽具有相同的溫度，電流表的設(shè)置便于直觀觀察半導(dǎo)體器件樣品和標(biāo)準(zhǔn)件的溫度特性的差異。