用于確定半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的高度的設(shè)備及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110647892.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113257703B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113257703B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/66;H01L21/67 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 閆長(zhǎng)春 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇師大半導(dǎo)體材料與設(shè)備研究院（邳州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張開(kāi) |
| 地址 | 212000 江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)遼河西路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了用于確定半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的高度的設(shè)備及方法，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。用于確定半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的高度的設(shè)備，包括安裝架，還包括：負(fù)壓箱，固定連接在所述安裝架上，其中，所述負(fù)壓箱一側(cè)開(kāi)設(shè)有開(kāi)口；箱門(mén)，轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述開(kāi)口上；套筒，固定連接在所述負(fù)壓箱頂部，且一端與負(fù)壓箱連通，其中，所述套筒為透明材質(zhì)；本發(fā)明通過(guò)堆疊的方法能夠單次對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體進(jìn)行測(cè)量，進(jìn)而得出該同批次同型號(hào)的半導(dǎo)體的平均高度值，通過(guò)測(cè)量時(shí)滑動(dòng)板對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行限位，提高半導(dǎo)體在被測(cè)量時(shí)的穩(wěn)定性，進(jìn)而提高測(cè)量的精度，通過(guò)讀取測(cè)量刻度算出平均值；該裝置方便快捷，測(cè)量效率快，測(cè)量準(zhǔn)確性高。 |
