一種基片臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220264646.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216786306U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216786306U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-21 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B25/12（2006.01）I;C30B29/04（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 魯振海;黎振坤;王蒙;張春林;常新磊 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 河南天璇半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 鄭州睿信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 450000河南省鄭州市河南自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)鄭州片區(qū)（鄭東）龍湖中環(huán)路與龍?jiān)次魉慕纸徊婵趩⒌相崠|科技城產(chǎn)促中心2樓226號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種基片臺(tái)，基片臺(tái)包括內(nèi)支撐和外環(huán)，內(nèi)支撐與外環(huán)分體設(shè)置，內(nèi)支撐裝于外環(huán)的內(nèi)孔中，內(nèi)支撐的上端面低于外環(huán)的上端而在外環(huán)內(nèi)形成放置槽，基片臺(tái)還包括上托片，放置槽用于放置上托片，上托片上設(shè)有多個(gè)貫通孔，上托片放置在放置槽內(nèi)后，上托片和內(nèi)支撐在貫通孔處圍成用于放置籽晶的生長(zhǎng)槽；通過(guò)分體設(shè)置的外環(huán)和內(nèi)支撐形成用于放置上托片的放置槽，使得外環(huán)和內(nèi)支撐能夠分別進(jìn)行加工，內(nèi)支撐的上端面不受外環(huán)的影響，從而能夠?qū)?nèi)支撐的上端面進(jìn)行充分地拋光處理，使其與上托片接觸的接觸面較為光滑，避免存在接觸間隙，增強(qiáng)了散熱效果。 |
