一種邦定失效分析方法
基本信息

| 申請?zhí)?/td> | CN201610008578.0 | 申請日 | - |
| 公開(公告)號 | CN105651790B | 公開(公告)日 | 2019-08-20 |
| 申請公布號 | CN105651790B | 申請公布日 | 2019-08-20 |
| 分類號 | G01N23/00;G01B15/04 | 分類 | 測量;測試; |
| 發(fā)明人 | 況東來;周波;胡夢海 | 申請(專利權(quán))人 | 廣州市興森電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 廣州興森快捷電路科技有限公司;深圳市興森快捷電路科技股份有限公司;廣州市興森電子有限公司 |
| 地址 | 510663 廣東省廣州市廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)科學(xué)城光譜中路33號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 本發(fā)明公開一種邦定失效分析方法,包括如下步驟:S1:使用X?ray測厚儀測量鍍層厚度;S2:用掃描電鏡觀察表面形貌是否存在異常;S3:若表面形貌異常,則用線掃分析表面是否存在局部無金,若是則判定為表面形貌異常是導(dǎo)致邦定不良的因素之一。本發(fā)明通過掃描電鏡可快速觀察經(jīng)過邦定工藝之后的產(chǎn)品表面是否存在形貌異常,得出邦定不良的真實原因與表面形貌異常的關(guān)系,為邦定工藝的進一步改進提供基礎(chǔ)。使用本方法,還能觀察到產(chǎn)品表面是否存在異常污染,再經(jīng)過針對性地清洗異常污染之后,檢測、對比產(chǎn)品前后的邦定性能,可得知邦定不良的真實原因與異常元素污染的關(guān)系,為邦定工藝的進一步改進提供基礎(chǔ)。 |





