一種具有較高抗腐蝕性的晶片研磨機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020262202.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN201728580U 公開（公告）日 2011-02-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN201728580U 申請(qǐng)公布日 2011-02-02
分類號(hào) B24B37/04(2006.01)I;B24B57/04(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 張繼昌;段有志 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大慶佳昌科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大慶知文知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 大慶佳昌科技有限公司;大慶佳昌晶能信息材料有限公司
地址 163316 黑龍江省大慶市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)產(chǎn)業(yè)三區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種具有較高抗腐蝕性的晶片研磨機(jī)。主要解決現(xiàn)有技術(shù)中的研磨機(jī)中的研磨粉添加結(jié)構(gòu)容易被腐蝕的問題。其特征在于：晶片研磨機(jī)還包括一個(gè)“L”形研磨粉導(dǎo)入管、一個(gè)研磨粉注入槽架以及一個(gè)研磨粉導(dǎo)入管固定架；研磨粉注入槽架固定于研磨盤的上部，由研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入研磨盤上的研磨粉輸入端；研磨粉導(dǎo)入管固定架固定在所述汽缸提升桿上，“L”形研磨粉導(dǎo)入管固定于研磨粉導(dǎo)入管固定架的側(cè)壁，固定后的“L”形研磨粉導(dǎo)入管的輸出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，所述“L”形研磨粉導(dǎo)入管的另一端經(jīng)軟管連接至研磨粉定量泵的輸出端。如此改進(jìn)后，具有較好的抗腐蝕性。