直拉單晶生長裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN02285928.4 申請日 -
公開（公告）號 CN2576728Y 公開（公告）日 2003-10-01
申請公布號 CN2576728Y 申請公布日 2003-10-01
分類號 C30B15/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王永鴻 申請（專利權）人 大慶佳昌科技有限公司
代理機構 北京元中知識產(chǎn)權代理有限責任公司 代理人 王明霞
地址 100074北京市豐臺區(qū)云崗南區(qū)13樓1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種直拉單晶生長裝置，其包括籽晶桿、坩堝和連接于坩堝底部的坩堝桿，所述的坩堝的上面設有用于密封坩堝的熱壁密封蓋，所述的熱壁密封蓋和坩堝連接部位設有動態(tài)密封裝置，所述籽晶桿穿過熱壁密封蓋伸入坩堝室內(nèi)并與熱壁密封蓋連為一體。本實用新型解決了現(xiàn)有的直拉單晶生長裝置結構復雜、密封環(huán)節(jié)多的問題，只需在熱壁密封蓋和坩堝連接部位一處設有動態(tài)密封裝置即可以實現(xiàn)密封，克服了現(xiàn)有直拉單晶生長裝置因密封環(huán)節(jié)多、結構復雜而帶來的成本增加、重復性差、不適于產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)、并且難以保證良好的密封效果等缺陷。