一種平面等厚介質折射率的校準裝置及校準方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111071946.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113514425B 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN113514425B 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01N21/41（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 蘇州高視半導體技術有限公司
代理機構 北京遠大卓悅知識產權代理有限公司 代理人 賀杰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嘉陵江路198號11幢9層903室、904室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例公開了一種平面等厚介質折射率的校準裝置及校準方法，該校準裝置包括光譜共焦傳感器光譜儀及調距機構，其中，所述光譜共焦傳感器包括白光點光源、半透半反射鏡及色散物鏡；所述半透半反射鏡和色散物鏡在白光點光源和被測介質之間沿光軸依次設置，所述半透半反射鏡靠近白光點光源，所述色散物鏡靠近被測介質側；根據檢測得到的6個不同波長中的中間4個波長折射率計算出被測介質的折射率曲線，隨后使用兩端波長折射率進行校準。根據本發(fā)明，其能夠通過對復消色差特性公式中波長項系數(shù)進行修正來提高預測折射率曲線的精度，進而得到被測樣品準確的折射率公式，同時得到該樣品準確的折射率曲線。