一種霍爾離子源
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921703112.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211227315U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211227315U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-11 |
| 分類號(hào) | C23C14/34(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 劉慧超 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 東莞東陽(yáng)光高能醫(yī)療設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 523808廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)光大We谷A1棟1318號(hào)房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于離子源技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)一種霍爾離子源，包括反應(yīng)室，所述反應(yīng)室包括第一反應(yīng)室、第二反應(yīng)室、第三反應(yīng)室，所述第二反應(yīng)室分別與所述第一反應(yīng)室、第三反應(yīng)室相連；所述第一反應(yīng)室包括磁鋼模塊，所述磁鋼模塊包括多塊同軸設(shè)置的磁鋼元件；所述第二反應(yīng)室包括陽(yáng)極模塊；所述第三反應(yīng)室包括陰極元件；所述磁鋼模塊、所述陽(yáng)極模塊、所述陰極元件相對(duì)設(shè)置。本實(shí)用新型提供的一種霍爾離子源，磁鋼組件設(shè)置為可疊加的結(jié)構(gòu)，可以通過(guò)增減磁鋼元件的個(gè)數(shù)實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)磁場(chǎng)大小。?? |
