基于圓柱槽凸輪實現(xiàn)快速同步掃描的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720932353.4 申請日 -
公開（公告）號 CN207198097U 公開（公告）日 2018-04-06
申請公布號 CN207198097U 申請公布日 2018-04-06
分類號 G01N29/06 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張國方;李進春;裘揆;黃威 申請（專利權）人 上海和伍精密儀器股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路953弄322號1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種基于圓柱槽凸輪實現(xiàn)快速同步掃描的裝置，包括第一運動機構、第二運動機構、檢測部件，其中：第一運動機構為圓柱槽凸輪機構，第一運動機構、第二運動機構連接并帶動檢測部件、檢測樣品其中一個實現(xiàn)第一方向的往復直線運動、第二方向運動；第一運動機構與第二運動機構結合同步掃描，合成預定的掃描軌跡。本實用新型能夠實現(xiàn)快速同步掃描，既能保證良好的掃描效果，又能大大提高掃描速度。