一種基于MEMS微振鏡技術(shù)的激光散斑消除裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920045431.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209297040U 公開（公告）日 2019-08-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN209297040U 申請(qǐng)公布日 2019-08-23
分類號(hào) G02B27/48（2006.01）I; G02B26/08（2006.01）I; G02B26/10（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 金傳廣; 杜先鵬; 郭俊興; 代啟強(qiáng); 周印偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島小優(yōu)智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 266100 山東省青島市高新區(qū)松園路17號(hào)青島市工業(yè)技術(shù)研究院A區(qū)A1樓3層305.307.309.311房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于MEMS微振鏡技術(shù)的激光散斑消除裝置，包括外殼和沿光路依次分布設(shè)置的半導(dǎo)體激光器、激光整形系統(tǒng)、雙軸MEMS微振鏡、反饋系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生的光束，通過激光整形系統(tǒng)整形后通過雙軸MEMS微振鏡對(duì)外進(jìn)行投射。雙軸MEMS微振鏡消除激光散斑，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，而且對(duì)激光光源的波長(zhǎng)沒有要求，任意波長(zhǎng)的激光均可實(shí)現(xiàn)消散斑效果；雙軸MEMS微振鏡的X軸做掃描運(yùn)動(dòng)，獲得所需模式的結(jié)構(gòu)光，結(jié)構(gòu)光模式不限；雙軸MEMS微振鏡的Y軸做鏡面法線方向的上下幅度為波長(zhǎng)量級(jí)的高頻振動(dòng)，振動(dòng)頻率高于X軸的頻率，振動(dòng)幅度為波長(zhǎng)量級(jí)，不會(huì)對(duì)掃描光柵的分布造成影響，實(shí)現(xiàn)了獲得高光束質(zhì)量的方法，極大的提高掃描模組的建模精度。