一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200820055357.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN201199283Y 公開（公告）日 2009-02-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN201199283Y 申請(qǐng)公布日 2009-02-25
分類號(hào) G02B21/36(2006.01);G02B21/32(2006.01) 分類 光學(xué);
發(fā)明人 鐘琪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海芯索芯片分析技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海兆豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 章蔚強(qiáng)
地址 200235上海市欽州路100號(hào)2樓608室、609室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種芯片顯微拍攝系統(tǒng)，包括一用于拍攝芯片的顯微鏡以及一與顯微鏡連接的電動(dòng)臺(tái)，還包括一加載于顯微鏡上的電荷耦合器件CCD以及一分別控制所述的電荷耦合器件CCD和所述電動(dòng)臺(tái)的計(jì)算機(jī)。本實(shí)用新型通過(guò)在現(xiàn)有的顯微鏡上加載電荷耦合器件CCD將采集的圖像轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào)后傳輸給計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理，通過(guò)控制顯微鏡X軸、Y軸和Z軸對(duì)芯片進(jìn)行實(shí)時(shí)采集及顯示，并且根據(jù)需要進(jìn)行保存，提高了芯片拍攝的精度并且有利于集成電路的分析。