一種石墨件表面沉積碳化硅涂層工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011058293.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112225585B 公開(公告)日 2022-05-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN112225585B 申請(qǐng)公布日 2022-05-20
分類號(hào) C04B41/87(2006.01)I;C04B41/91(2006.01)I 分類 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 郭泰山;林麗輝;田斌 申請(qǐng)(專利權(quán))人 賽邁科先進(jìn)材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州西木子知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 -
地址 313100 浙江省湖州市雉城鎮(zhèn)中鋼大道9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種石墨件表面沉積碳化硅涂層工藝,包括以下步驟:石墨件表面除雜、噴淋清洗、沉積反應(yīng)以及石墨件冷卻,本發(fā)明通過在反應(yīng)釜內(nèi)設(shè)置置物臺(tái),置物臺(tái)上設(shè)置集液組件及可罩設(shè)在其上的噴淋組件,噴淋組件中環(huán)繞設(shè)置有與集液組件連通的冷卻組件,并且在切換裝置的作用下,噴淋組件和冷卻組件在切換裝置的引導(dǎo)下交替進(jìn)行單獨(dú)工作,使石墨件表面除雜和表面沉積在同一反應(yīng)釜內(nèi)完成,解決了現(xiàn)有技術(shù)中石墨件表面沉積需要在兩個(gè)工位中進(jìn)行導(dǎo)致石墨件轉(zhuǎn)移過程中其表面易出現(xiàn)磨損進(jìn)而影響沉積效果的技術(shù)問題。