一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201822046164.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209261999U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-08-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209261999U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-08-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | F16B11/00 | 分類(lèi) | 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱; |
| 發(fā)明人 | 謝燕;劉勇;童嚴(yán);時(shí)堯成;戴道鋅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州天步光電技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215500 江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)匯金三路東東南會(huì)1號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，包括C型支架、底座導(dǎo)軌、晶圓承載臺(tái)、真空吸盤(pán)、真空導(dǎo)管、上蓋導(dǎo)柱、上蓋、水平調(diào)節(jié)模塊、下壓螺桿；C型支架包括有支架底座和彎折支架，在C型支架的支架底座上設(shè)有兩條底座導(dǎo)軌；晶圓承載臺(tái)底部嵌入底座導(dǎo)軌內(nèi)，晶圓承載臺(tái)中部設(shè)有真空吸盤(pán)，真空導(dǎo)管連接真空吸盤(pán)，晶圓承載臺(tái)上表面四個(gè)角上設(shè)有上蓋導(dǎo)柱；上蓋下表面四個(gè)角上設(shè)有用于上蓋導(dǎo)柱插入的導(dǎo)孔；水平調(diào)節(jié)模塊放置在上蓋上表面；C型支架的彎折支架前端設(shè)有下壓螺桿，位于水平調(diào)節(jié)模塊正上方。本實(shí)用新型一種用于光分路器晶圓貼片加工夾具，能有效控制光分路器晶圓與蓋板之間層膠的均勻性。 |
