一種倒裝對位方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210399499.9 申請日 -
公開(公告)號 CN102881621A 公開(公告)日 2013-01-16
申請公布號 CN102881621A 申請公布日 2013-01-16
分類號 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 賈磊 申請(專利權(quán))人 無錫尚實電子科技有限公司
代理機構(gòu) 江陰市永興專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 達曉玲;詹世平
地址 214400 江蘇省無錫市江陰市澄江中路159號(A605、606)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種倒裝對位方法及裝置,包括第一識別裝置和固定支撐平臺,該第一識別裝置安裝在固定支撐平臺上,第二識別裝置和一移動支撐平臺,該第二識別裝置安裝在移動支撐平臺上,將一第二料件吸附于該移動支撐平臺,移動該移動支撐平臺,用第一識別裝置識別第二料件的至少一個對位標記的位置并記錄,移動該移動支撐平臺,用第二識別裝置識別第一料件的至少一個對位標記的位置并記錄,移動該移動支撐平臺,矯正第二料件的位置,使第二料件的位置相對于第一料件的位置進入預定偏差的容許精度內(nèi)。本發(fā)明的方法和裝置,在機器視覺輔助對位過程中僅需一個精密的移動支撐平臺,同時還能獲得高精度的對位產(chǎn)品,有效降低了機器視覺對位系統(tǒng)的成本。