一種晶體生長裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922114666.0 申請日 -
公開（公告）號 CN211005717U 公開（公告）日 2020-07-14
申請公布號 CN211005717U 申請公布日 2020-07-14
分類號 C30B29/10(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 趙有文;段滿龍;盧偉;楊俊;劉京明 申請（專利權(quán)）人 珠海鼎泰芯源晶體有限公司
代理機構(gòu) 廣東朗乾律師事務(wù)所 代理人 閆有幸;楊煥軍
地址 519000廣東省珠海市高新區(qū)金鼎工業(yè)片區(qū)金園一路6號8棟廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種晶體生長裝置，涉及晶體制備技術(shù)領(lǐng)域；包括晶體生長爐；其特征在于，還包括底座以及角度調(diào)整裝置；所述晶體生長爐具有轉(zhuǎn)軸，所述晶體生長爐通過所述轉(zhuǎn)軸安裝在所述底座上，與所述底座可活動連接；所述角度調(diào)整裝置的驅(qū)動端連接所述晶體生長爐的所述轉(zhuǎn)軸；所述角度調(diào)整裝置驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動以調(diào)整所述晶體生長爐的傾斜角度。本實用新型的晶體生長裝置結(jié)合相應(yīng)的晶體制備工藝，除了滿足晶體生長的需求，同時還能滿足晶體退火的需求以及脫堝前的準(zhǔn)備，保證了工序的連貫性，減少了部分人工作業(yè)；并且能夠減少脫堝過程中對坩堝的損傷，使得長晶過程中出現(xiàn)欒晶及花晶的比例明顯降低，進一步提高了晶體的質(zhì)量。??