掩模版保護(hù)膜的撬膜裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921385839.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210864315U | 公開（公告）日 | 2020-06-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210864315U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-26 |
| 分類號(hào) | G03F1/62(2012.01)I;G03F1/64(2012.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張闖;嚴(yán)江偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫迪思微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫市朗高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 無錫迪思微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市太湖國際科技園菱湖大道180號(hào)-6 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供掩模版保護(hù)膜的撬膜裝置，包括：掩模溫控模塊，該模塊設(shè)置于下平臺(tái)內(nèi)；膜框冷卻模塊，位于上蓋板上且對(duì)應(yīng)膜框位置，用于對(duì)模框降溫；掩模版固定裝置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；連接件，用于連接上蓋板與膜框，上蓋板開啟時(shí)，帶動(dòng)膜框、保護(hù)膜從掩模版上脫離，本專利申請(qǐng)利用掩模版加熱模塊對(duì)掩模版進(jìn)行加熱，在通過高溫將掩模版上的膠融化的同時(shí)，并利用液體冷卻給于膜框低溫特性，增強(qiáng)膠對(duì)膜框的粘性，從而使去膜過程中，既降低了膠對(duì)掩模鉻層帶來傷害的風(fēng)險(xiǎn)，也減少了膠粘附在掩模版上的幾率。?? |
