一種掩模版架、掩模版架與掩模版間接觸電阻的檢測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921275296.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210864316U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210864316U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F1/64(2012.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 黃宏君 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫迪思微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市朗高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 無(wú)錫迪思微電子有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市太湖國(guó)際科技園菱湖大道180號(hào)-6 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種掩模版架、掩模版架與掩模版間接觸電阻的檢測(cè)系統(tǒng)，版架上增設(shè)至少一對(duì)頂針，每對(duì)所述頂針中，一個(gè)頂針與所述版架絕緣，另一個(gè)頂針與所述版架導(dǎo)通連接，每對(duì)所述頂針用于與放置在所述版架上的掩模版的金屬層接觸，并利用電阻檢測(cè)器與所述至少一對(duì)頂針通過(guò)導(dǎo)線連接，本專利申請(qǐng)便于及時(shí)檢測(cè)掩模版架與掩模版之間的接觸電阻，如果接觸電阻過(guò)大，則需馬上重裝掩模版，直到接觸電阻小于預(yù)設(shè)值，從而有效避免產(chǎn)品因錯(cuò)位而報(bào)廢、提高產(chǎn)品成品率，本結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、操作方便，有效避免因裝版不達(dá)標(biāo)而發(fā)生產(chǎn)品報(bào)廢情況的出現(xiàn)。?? |
