封焊設(shè)備烤箱自鎖裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620402681.9 申請日 -
公開（公告）號 CN205642015U 公開（公告）日 2016-10-12
申請公布號 CN205642015U 申請公布日 2016-10-12
分類號 F27D7/06(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I;E05B63/14(2006.01)I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 李永斌;張貽建;馬建立 申請（專利權(quán)）人 紫光國芯微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 唐山永和專利商標事務(wù)所 代理人 張云和
地址 064100 河北省唐山市玉田縣無終西街3129號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種封焊設(shè)備烤箱自鎖裝置，包括入料烤箱，入料烤箱設(shè)有烤箱外門鎖、烤箱內(nèi)門鎖；入料烤箱連接抽真空管、充氮管。本實用新型通過入料烤箱設(shè)有烤箱外門鎖、烤箱內(nèi)門鎖，在待加工元件進入到入料烤箱后，烤箱外門鎖、烤箱內(nèi)門鎖鎖死，使入料烤箱封閉后，通過抽真空管將入料烤箱內(nèi)的空氣抽出，形成真空；然后對待烤元件加熱進行烘烤；烘烤達到設(shè)定時間、溫度后，入料烤箱內(nèi)真空條件下自動充入氮氣進行破真空，達到與工作環(huán)境下的大氣壓相同壓強后，烤箱外門鎖、烤箱內(nèi)門鎖解鎖打開，烘烤結(jié)束；該裝置可以提高入料烤箱加熱、降溫過程中的真空度，減少產(chǎn)品內(nèi)部氧含量、水汽和其它氣體含量，提高產(chǎn)品烘烤的質(zhì)量。