晶圓夾持件、晶圓夾持機構(gòu)及晶圓加工設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020891175.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212161786U 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN212161786U 申請公布日 2020-12-15
分類號 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 金浩天 申請（專利權(quán)）人 上海眾鴻電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金浩天
地址 200135上海市浦東新區(qū)沈梅路600號環(huán)宇智能產(chǎn)業(yè)園A幢1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓夾持件、晶圓夾持機構(gòu)及晶圓加工設(shè)備，所述晶圓夾持件包括一個安裝座；一個夾持臂，所述夾持臂包括一個基座和兩個第一延伸臂，兩個所述第一延伸臂分別安裝于所述基座，所述基座安裝于所述安裝座；至少兩個第二延伸臂，至少兩個所述第二延伸臂分別安裝于所述夾持臂；以及至少兩個第三延伸臂，每一所述第二延伸臂分別安裝一個所述第三延伸臂；其中所述第三延伸臂的高度低于所述第二延伸臂的高度，所述第二延伸臂的高度低于所述夾持臂的高度；至少兩個所述第二延伸臂和所述夾持臂圍繞形成一個第一夾持空間，至少兩個所述第三延伸臂和至少兩個所述第二延伸臂圍繞形成一個第二夾持空間。其能夠適用于兩種尺寸的晶圓。??