晶圓傳輸機(jī)構(gòu)及晶圓加工設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020898218.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212380401U | 公開（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申請公布號(hào) | CN212380401U | 申請公布日 | 2021-01-19 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 金浩天 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海眾鴻電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海碩力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海眾鴻電子科技有限公司 |
| 地址 | 200135上海市浦東新區(qū)沈梅路600號(hào)4幢1樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓傳輸機(jī)構(gòu)及晶圓加工設(shè)備，所述晶圓傳輸機(jī)構(gòu)用于在晶圓盒和晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)之間傳輸晶圓，包括，架體；承載組件，包括安裝座、承載臂以及推動(dòng)臂，所述安裝座安裝于所述架體，所述承載臂安裝于所述安裝座，所述推動(dòng)臂安裝于所述安裝座；驅(qū)動(dòng)組件，安裝于所述架體，用于驅(qū)動(dòng)所述承載組件沿著預(yù)設(shè)的軌跡運(yùn)動(dòng)，并且能夠驅(qū)動(dòng)所述推動(dòng)臂相對(duì)于所述安裝座伸縮，以推動(dòng)所述晶圓盒內(nèi)凸出的晶圓歸位。所述晶圓傳輸機(jī)構(gòu)能夠推動(dòng)晶圓盒內(nèi)凸出的晶圓歸位，便于晶圓的后續(xù)加工以及防止晶圓損壞。?? |
