晶圓加工設備及晶圓加工設備的前蓋板
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020831832.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212380391U | 公開（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申請公布號 | CN212380391U | 申請公布日 | 2021-01-19 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 金浩天 | 申請（專利權）人 | 上海眾鴻電子科技有限公司 |
| 代理機構 | 上海碩力知識產權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 上海眾鴻電子科技有限公司 |
| 地址 | 200135上海市浦東新區(qū)沈梅路600號4幢1樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓加工設備及晶圓加工設備的前蓋板，所述晶圓加工設備的前蓋板包括，蓋板主體，所述蓋板主體具有一個窗口部和一個輔助操控部，所述窗口部與所述輔助操控部相鄰設置，所述蓋板主體還具有形成于所述窗口部的至少一個窗口和安裝于所述窗口的透明板，透過所述透明板能夠觀察晶圓加工設備的至少一個處理單元的工作情況；輔助控制件，所述輔助控制件安裝于所述蓋板主體的所述輔助操控部，通過所述輔助控制件能夠控制至少一所述處理單元的工作。透過窗口部觀察晶圓加工設備的至少一處理單元的工作情況的同時操作輔助控制件控制相應的所述處理單元的運行，能夠提高操控的便利性與精確度。?? |
