一種低成本可量產的高純碳化硅粉料的制備裝置和制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210241643.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114515561A 公開（公告）日 2022-05-20
申請公布號 CN114515561A 申請公布日 2022-05-20
分類號 B01J19/24（2006.01）I;B01J19/00（2006.01）I;C01B32/984（2017.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 程章勇;張云偉;何麗娟;楊麗雯;李天運 申請（專利權）人 合肥世紀金芯半導體有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 -
地址 231200安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道106號明珠產業(yè)園1#樓1層A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種低成本可量產的高純碳化硅粉料的制備裝置，包括：坩堝，所述坩堝包括具有多孔結構的外層坩堝以及設置于所述外層坩堝內部的內層坩堝；開設于所述坩堝底部的、用于向坩堝內部通入氬氣和氫氣的石墨管。本發(fā)明提供的制備裝置制備得到的碳化硅粉料粒徑均一，純度高，并且可以提高產品的產量。