一種適用于晶圓貼蓋板夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120839170.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214672565U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN214672565U 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) H01L21/687（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 何祺昌;林家浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安捷芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東科信啟帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳少東
地址 528459廣東省中山市板芙鎮(zhèn)深灣村啟發(fā)南路26號(hào)（住所申報(bào)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于晶圓貼蓋板夾具，包括底座、設(shè)置在底座上用于貼合晶圓工件的第一基座、可拆卸設(shè)置在第一基座上方用于貼合玻璃蓋板的第二基座以及設(shè)置在底座上用于給第二基座施加壓力的施壓裝置，第一基座與第二基座位于工件一面均設(shè)有定位部件，本申請(qǐng)采用了芯片基板與蓋板一次貼合的方式，降低了因切割成Bar條后再貼蓋板的加工風(fēng)險(xiǎn)。通過(guò)夾具的真空吸盤將工件牢牢固定，避免了操作中因蓋板位移而對(duì)芯片造成損傷或膠層厚度不均勻，確保晶圓與蓋板相對(duì)平行，確保膠層厚度均勻。邊角處有四個(gè)固定銷配合，在取放工件時(shí)晶圓與蓋板貼合面始終保持平行，保護(hù)工件。螺桿旋壓通過(guò)壓塊傳遞下壓力，使夾具受力更加均勻，最終實(shí)現(xiàn)對(duì)工件膠層有效控制。