一種適用于晶圓Bar條對(duì)光工序吸附夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122559011.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216116672U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216116672U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類號(hào) | G01M11/02（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 何褀昌;李開(kāi)心 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安捷芯科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣東科信啟帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳少東 |
| 地址 | 528459廣東省中山市板芙鎮(zhèn)深灣村啟發(fā)南路26號(hào)（第1、2樓） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種適用于晶圓Bar條對(duì)光工序吸附夾具，包括豎直設(shè)置在底座上的夾具片，所述夾具片的上端面沿其長(zhǎng)度方向設(shè)有多個(gè)用于吸附芯片的吸附孔，所述夾具片內(nèi)部設(shè)有與所述吸附孔連通的吸附通道，所述吸附通道的另一端設(shè)有用于與吸附裝置連接的快速接頭，本申請(qǐng)有益效果為：首先適用于芯片晶圓切割成Bar條狀后的對(duì)光測(cè)試工序；其次與工件接觸的面粗糙度小，保證芯片Bar條與夾具的吸附力足夠強(qiáng)；再者底部有兩個(gè)反光塊，使得CCD成像更清晰，更容易觀測(cè)到芯片的波導(dǎo)；最后氣道設(shè)計(jì)合理，氣密性好，夾具制作精度高，吸附時(shí)工件穩(wěn)定無(wú)晃動(dòng)。 |
