一種適用于8英寸晶圓清洗夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122559066.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216095264U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216095264U 申請公布日 2022-03-22
分類號 B08B3/12（2006.01）I;B08B11/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 何褀昌;吳泳杰 申請（專利權(quán)）人 安捷芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東科信啟帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳少東
地址 528459廣東省中山市板芙鎮(zhèn)深灣村啟發(fā)南路26號（第1、2樓）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于8英寸晶圓清洗夾具，包括夾具內(nèi)支撐板，所述夾具內(nèi)支撐板的中部設(shè)有貫穿孔，所述夾具內(nèi)支撐板外周圓周圍設(shè)有擋板，位于上方的所述擋板圍設(shè)成用于容納晶圓的容納腔，所述夾具內(nèi)支撐板的上表面等比例排布有多個用于支撐晶圓的螺柱以及多個用于供清洗液流通的通孔，本申請有益效果為：首先適用于芯片晶圓的清洗工序和烘烤工序；其次夾具主體使用SUS304材質(zhì)，適用于多種不同的清洗溶液，不會與之發(fā)生反應(yīng)；再者內(nèi)部設(shè)計有8個材質(zhì)為尼龍的螺柱支撐，芯片作用面與夾具之間無接觸，保護(hù)芯片；最后夾具設(shè)計合理，芯片作用面與夾具之間有間隙，震洗過程中清洗液可無縫地清洗晶圓的每個面。