一種多晶硅清洗液的評估方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111058646.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113624704B 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN113624704B 申請公布日 2022-02-15
分類號 G01N21/31（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張?zhí)煊?王敏;王付剛;吳鵬 申請（專利權(quán)）人 江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京錦信誠泰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 倪青華
地址 221004江蘇省徐州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)楊山路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶硅清洗液的評估方法，包括以下步驟：建立循環(huán)系統(tǒng)，自對多晶硅清洗液進行存儲的槽體一處對部分清洗液進行抽取，且自另一處將抽取的清洗液返送回槽體內(nèi)；對循環(huán)系統(tǒng)內(nèi)的清洗液進行吸光度分析，獲得吸光度值；對吸光度值進行信號轉(zhuǎn)化，獲得數(shù)字信號；通過數(shù)字信號對清洗液進行評估。本發(fā)明中利用吸光度分析的方法確定HF/HNO3的水溶液組分變化，可以對清洗液的更換和調(diào)配提供可定量的判斷指標，從而使得硅料刻蝕的過程獲得穩(wěn)定的控制，保證供下游拉直單晶使用的硅料具有較高的質(zhì)量，從而提高最終產(chǎn)品的穩(wěn)定性及可靠性。